| Oberfläche | Schleifmittel / Größe | Belastung [N] / Probe | Grunddrehzahl [U / min] | Relative Drehung | Zeit [min: sec] |
| CarbiMet | 320 [P400] Körnung SiC, wassergekühlt | 6 [27] | 300 |
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Bis zur Ebenheit |
| UltraPad | 9 µm MetaDi Supreme Diamond | 6 [27] | 150 |
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10:00 |
| TriDent | 3 µm MetaDi Supreme Diamond | 6 [27] | 150 |
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8:00 |
| ChemoMet | 0,02 -0,06 µm MasterMet Siliziumdioxid plus angreifendes Poliermittel | 6 [27] | 150 |
|
5:00 |
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